金融界2025年5月19日消息，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，應(yīng)用材料公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“用于高密度等離子體強(qiáng)化的處理腔室的對(duì)稱(chēng)天線陣列”的專(zhuān)利，公開(kāi)號(hào)CN119998920A，申請(qǐng)日期為2023年9月高性能磁鐵 。

專(zhuān)利摘要顯示，本公開(kāi)內(nèi)容涉及一種天線陣列高性能磁鐵 。天線陣列包括多個(gè)電介質(zhì)窗、主框架與多個(gè)副框架，多個(gè)電介質(zhì)窗耦合到包括多個(gè)氣體端口的支撐結(jié)構(gòu)、主框架包括連接到電源的主導(dǎo)管，多個(gè)副框架由主框架支撐。副框架包括連接到主導(dǎo)管的副導(dǎo)管。多個(gè)感應(yīng)耦合器，多個(gè)感應(yīng)耦合器設(shè)置在多個(gè)電介質(zhì)窗上方并由副框架支撐。多個(gè)電感耦合器，多個(gè)電感耦合器包括多個(gè)天線連接器和多個(gè)天線。多個(gè)天線連接器將多個(gè)天線連接到副導(dǎo)管。

來(lái)源：金融界